國際碳化硅及相關材料會議ICSCRM(The International Conference on Silicon Carbide and Related Materials)是以碳化硅為代表的寬禁帶半導體以及相關材料、器件的產業與學術并重的高水平國際論壇。9月16日,ICSCRM 2022在瑞士達沃斯圓滿落幕,天岳先進參加會議并就8英寸碳化硅襯底最新研發情況作出匯報。
(拉曼光譜晶型檢測報告)
襯底直徑是衡量晶體制備水平的重要指標之一,天岳先進較早布局了8英寸產品的研發,是國內最早研發和布局產業化的企業之一。目前公司8英寸碳化硅襯底研發進展順利,晶型均一穩定,具有良好的結晶質量。
有別于單晶硅等材料在生長過程中可以擴徑的特點,碳化硅襯底材料的擴徑需要先制備大尺寸籽晶,并且需要對缺陷和應力分布等進行嚴格控制。天岳先進從籽晶入手,在粉料合成、熱場設計、工藝固化、過程控制、加工檢測等全流程實現技術自主可控。
公司持續加大8英寸導電型襯底產業化突破。在前期自主擴徑實現8英寸產品研發成功的基礎上,將繼續加大技術和工藝突破,并根據市場需求,積極布局產業化。